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发明名称 SPIN COATING DEVICE AND PROCESS
摘要
申请公布号 JPH0372616(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890224570 申请日期 1989.09.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IKENO MASAHIKO
分类号 G03F7/16;B05C11/08;B05D1/00;B05D1/40;H01L21/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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