发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0750288(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930193269 申请日期 1993.08.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUROKOME MATSUO;NORITOMI TOYOSHIGE;TORII ZENZO;USUI TAKETO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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