发明名称 FORMATION METHOD OF CONDUCTIVE LAYER
摘要
申请公布号 JPH0855853(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940213162 申请日期 1994.08.15
申请人 YAMAHA CORP 发明人 TAWARA TAKASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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