| 发明名称 |
Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten mit Seitenblenden |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE20116416(U1) |
申请公布日期 |
2002.01.03 |
| 申请号 |
DE20012016416U |
申请日期 |
2001.10.08 |
| 申请人 |
ACKERMANN, GUNTHER;GERSTENDOERFER-HART, BARBARA |
发明人 |
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| 分类号 |
B01J19/12;H01L21/00;H05B3/00;(IPC1-7):B01J19/12;H05B6/00 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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