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发明名称
摘要
申请公布号	JP3968281(B2)	申请公布日期	2007.08.29
申请号	JP20020261044	申请日期	2002.09.06
申请人		发明人
分类号	C23C16/52;H01L21/31	主分类号	C23C16/52
代理机构		代理人
主权项
地址

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