PECVD HIGH EFFICIENCY SOLAR CELLS FABRICATED BY INEXPENSIVE PECVD

摘要

광발전 디바이스를 형성하는 방법은 고 증착 속도 플라즈마 향상된 화학적 기상 증착(HDR PECVD) 프로세스를 채용하여서 기판 상에 하나 또는 그 이상의 광발전 스택 층들을 증착하는 단계(302)를 포함한다. 광발전 셀을 제공하기 위해 상기 광발전 스택 상에 컨택들이 형성된다(306). 전체 성능을 개선하기 위해 구성된 온도와 기간에서 상기 광발전 셀에 관하여 어닐이 수행된다.