| 摘要 |
대면적 엑스선 검출기 및 제조방법이 개시된다. 개시된 대면적 엑스선 검출기는, 인쇄회로기판 상에 타일링되며, 상기 인쇄회로기판과 전기적으로 연결된 복수의 주문형 반도체와, 상기 인쇄회로기판 상에서 상기 복수의 주문형 반도체를 덮는 평탄화막과, 상기 평탄화막 상에서 상기 각 주문형 반도체에 대응되게 형성된 복수의 픽셀전극과, 상기 평탄화막 상에서 상기 복수의 픽셀전극들을 덮는 포토컨덕터층을 구비한다. 상기 픽셀전극과 상기 주문형 반도체의 콘택은 상기 평탄화막에 형성된 비아홀을 채운 콘택플러그로 연결된다. |
