一种背钝化太阳能电池的激光脉冲方法

摘要

本发明公开了一种背钝化太阳能电池的激光脉冲方法。它包括以下步骤：A、对单晶硅片进行制绒处理，形成金字塔绒面；B、扩散制备PN结；C、抛光去除边结及表面缺陷；D、通过ALD、PECVD使正背面形成钝化膜层；E、在背表面进行激光开槽，开槽采用脉冲方式为多脉冲，脉冲数为2‑5；F、丝网印刷形成正电极，背电极及背场；G、烧结使金属与硅之间形成良好的欧姆接触。其优点是：减小了对硅基体及膜层的损伤，使激光开槽时对膜层平整性的要求放宽，使开槽部位的平整性更好，从而减少了对背面膜层及硅基体的损伤，增强钝化效果；激光开槽部位的平整度更好，使硅基体能够和铝背场形成良好的欧姆接触，从而提高了太阳能电池的转换效率。

主权项

一种背钝化太阳能电池的激光脉冲方法，包括以下步骤：A、对单晶硅片进行制绒处理，形成金字塔绒面；B、扩散制备PN结；C、抛光去除边结及表面缺陷,使背表面平整；D、通过ALD、PECVD使正背面形成钝化膜层；E、在背表面采用激光设备进行激光开槽，开槽采用脉冲方式为多脉冲，脉冲数为2‑5；F、丝网印刷形成正电极，背电极及背场；G、烧结使金属与硅之间形成良好的欧姆接触。