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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0372281(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890207803 申请日期 1989.08.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIBUKAWA MASARU
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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