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发明名称 ANNEALING METHOD FOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0637096(A) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 JP19920190430 申请日期 1992.07.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKEUCHI HIROSHI
分类号 H01L21/326;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/326
代理机构 代理人
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