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发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0637025(A) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 JP19920191189 申请日期 1992.07.20
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUGAHARA NORIYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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