| 发明名称 |
PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR AND PRODUCTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10324589(A) |
申请公布日期 |
1998.12.08 |
| 申请号 |
JP19970129311 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
NAGOYA KOGYO UNIV |
发明人 |
ICHIMURA MASAYA;ARAI EISUKE;GOTO FUMITAKA |
| 分类号 |
C30B7/14;B01J19/12;C30B29/46;H01L21/208;(IPC1-7):C30B7/14 |
主分类号 |
C30B7/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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