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发明名称 Herstellung von vergrabenen Hohlräumen in einer einkristallinen Halbleiterscheibe und Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE69930099(T2) 申请公布日期 2006.08.31
申请号 DE19996030099T 申请日期 1999.04.09
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA 发明人 BARLOCCHI, GABRIELE;VILLA, FLAVIO
分类号 H01L21/764;H01L21/20;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/762 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
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