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发明名称
Herstellung von vergrabenen Hohlräumen in einer einkristallinen Halbleiterscheibe und Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号
DE69930099(T2)
申请公布日期
2006.08.31
申请号
DE19996030099T
申请日期
1999.04.09
申请人
STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA
发明人
BARLOCCHI, GABRIELE;VILLA, FLAVIO
分类号
H01L21/764;H01L21/20;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/762
主分类号
H01L21/764
代理机构
代理人
主权项
地址
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