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发明名称
Atomic layer deposition apparatus and method using Xenon flash lamp
摘要
제논 플래시 램프를 이용한 원자층 증착 장치 및 방법이 개시된다. 제논 플래시 램프를 이용한 원자층 증착 장치는 제논 플래시 램프를 이용 순간적인 복사열로 어닐링 공정을 수행함으로써 사용자가 어닐링 공정을 원하는 표층 박막에만 어닐링 공정을 적용할 수 있다.
申请公布号
KR101679903(B1)
申请公布日期
2016.11.29
申请号
KR20130099055
申请日期
2013.08.21
申请人
고려대학교 산학협력단
发明人
심준형;박석원;한권덕;최형종
分类号
C23C16/448;C23C28/00
主分类号
C23C16/448
代理机构
代理人
主权项
地址
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