ETCHING LIQUID COMPOSITION FOR TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM

摘要

본 발명의 과제는, 액정 디스플레이 등에 사용되는 ITO막 등의 투명 도전막의 에칭처리에 있어서, 옥살산인듐의 결정 석출이 적은 투명 도전막용 에칭액 조성물을 제공하는 것에 있다. 본 발명은, 옥살산과 알칼리성 화합물(단, 트리에탄올아민을 제외)를 포함하는 투명 도전막용 에칭액 조성물로 하는 것에 의해, 투명 도전막의 에칭 공정에 있어서 에칭액 중의 인듐이 고농도라도, 옥살산인듐의 결정 석출을 효과적으로 방지하는 것이 가능하다.