SUBSTRATE TRANSFER ROBOT AND SYSTEM FOR PRCESSING SUBSTRATE

摘要

일 실시예에 따른 기판 이송 로봇은 로봇 몸체; 상기 로봇 몸체에 구비되어, 복수 개의 기판을 파지할 수 있는 기판 파지부; 및 상기 로봇 몸체에 구비되어, 상기 로봇 몸체가 레일의 길이방향을 따라 이동하게 할 수 있는 구동부;를 포함하고, 상기 구동부에는 상기 레일의 길이방향을 따라 이동되는 복수 개의 기어가 구비될 수 있다.