| 摘要 |
테이블 상에 서로 수직하는 제1 및 제2 방향들로 놓여진 반도체 패키지들을 검출하기 위한 반도체 패키지 검출 장치에 있어서, 상기 장치는, 상기 반도체 패키지들을 검출하기 위하여 상기 반도체 패키지들을 향해 광을 조사하고 상기 반도체 패키지들로부터 반사된 광을 수신하며 상기 제1 방향으로 배열된 광센서들과, 상기 광이 상기 반도체 패키지들을 상기 제2 방향으로 스캔하도록 상기 광센서들을 이동시키는 구동부와, 상기 광센서들 및 상기 구동부의 동작을 제어하며 상기 반도체 패키지들을 스캔하는 동안 상기 반도체 패키지들 및 상기 테이블로부터 반사된 광의 광량으로부터 상기 반도체 패키지들을 검출하는 제어부를 포함한다. |
