发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0855699(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940209403 申请日期 1994.08.11
申请人 ANERUBA KK 发明人 NOGAMI YUTAKA
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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