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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0855699(A)
申请公布日期
1996.02.27
申请号
JP19940209403
申请日期
1994.08.11
申请人
ANERUBA KK
发明人
NOGAMI YUTAKA
分类号
H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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