| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Drahtzange zum Manipulieren von Drähten, vorzugsweise von Bonddrähten in Drahtbondeinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, bestehend aus zwei relativ zueinander verschwenkbaren Zangenbacken, die jeweils am vorderen Ende mit einander zugewandten Klemmflächen versehen sind, zwischen denen der Bonddraht geführt ist und einer Antriebsvorrichtung zur Betätigung der Zangenbacken. Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Drahtzange zu schaffen, die sehr einfach aufgebaut ist, die einschließlich des zugehörigen Antriebes wenig Platz beansprucht, weitgehend verschleißfrei ist. Erfindunsgemäß enthält die Antriebsvorrichtung einen elektrisch ansteuerbaren Biegeaktor (15), der an einer der Zangenbacken (2; 3) befestigt ist. Der Biegeaktor (15) arbeitet entgegen einer Federkraft unmittelbar oder mittelbar auf eine der Zangenbacken (2; 3). Die Zangenbacken (2; 3) sind an den den Klemmflächen (5; 6) gegenüberliegenden Enden mit einem Paßstift (14) gelenkig verschwenkbar miteinander verbunden.</p> |
