发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE COUCHE CONTRAINTE
摘要 L'invention concerne un procédé de formation d'une contrainte dans une couche, comportant :a) l'assemblage, par collage moléculaire, de cette couche (10) à contraindre, avec une structure, ou des moyens, de mise sous contrainte, comportant au moins une couche (10) apte à se déformer dans son plan sous l'effet d'un champ électrique ou magnétique ou d'un flux de photons,b) la mise sous contrainte de ladite couche (10) par modification du champ électrique ou magnétique ou du flux de photons appliqué à la couche apte à se déformer.
申请公布号 FR2929447(A1) 申请公布日期 2009.10.02
申请号 FR20080052034 申请日期 2008.03.28
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 DEGUET CHRYSTEL;FOURNEL FRANK
分类号 H01L21/30;H01L21/46 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利