| 发明名称 |
Method and apparatus for batch processing of wafers in a furnace |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1345256(A3) |
申请公布日期 |
2005.07.06 |
| 申请号 |
EP20030251587 |
申请日期 |
2003.03.14 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V. |
发明人 |
VAN DEN BERG, JANNES REMCO;DEN HARTOG, EDWIN |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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