光位移传感器

摘要

本发明涉及一种小型和廉价光位移传感器，它不要求准确控制与物体之间的距离。利用重复光学结构形成被照射运动物体发射的重复光信号。光源照射重复光学结构以形成条纹图形(类似于激光多普勒风速测定法)，和/或光源照射物体，重复光学结构把来自被照射物体的光转向到光传感器。照射使物体上形成散斑图形。散斑图形随物体的运动而运动，不需要把物体成像到重复光学结构上，可以确定散斑图形的运动。由于散斑图形没有成像到光学部件，物体与光学部件之间的距离和可能的距离变化基本不影响系统的性能。

主权项

1.一种用于检测物体位移的光位移传感器系统，包括：相干光源，利用空间相干光至少照射部分的物体；至少有三个光学元件的光学部件，用于把空间中不同的特定第一区域映射到空间中基本相同的第二区域，从而产生第一区域中运动物体发射光相位变化造成的振荡光信号。