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发明名称 DEVICE FOR DETERMINING RADIATION POWER AND AN EXPOSURE DEVICE
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln einer mittleren Strahlungsleistung (a)&lt;I/&gt;einer mit Modulationsfrequenz?</p>
申请公布号 WO2006102916(A1) 申请公布日期 2006.10.05
申请号 WO2005EP03390 申请日期 2005.03.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;SCHWARZL, SIEGFRIED;WURM, STEFAN 发明人 SCHWARZL, SIEGFRIED;WURM, STEFAN
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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