发明名称 | 反渗透膜在线化学清洗方法以及清洗剂 | ||
摘要 | 一种碱性反渗透膜清洗剂,包括:浓度为1~4%的乙二胺四乙酸四钠盐或者十二烷基苯璜酸钠或者三聚磷酸钠溶液,所述溶液的pH为10~12。所述反渗透膜碱性清洗剂,采用常见的化学品,价格低廉,易购得并且配方简单。本发明还提供一种反渗透膜在线化学清洗方法,交替使用酸性反渗透膜清洗剂和所述的碱性反渗透膜清洗剂对反渗透膜进行在线清洗,简单、有效并且能够得到明显的清洗效果,工艺过程容易控制。 | ||
申请公布号 | CN101455931A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
申请号 | CN200710094536.4 | 申请日期 | 2007.12.13 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 张松峰 |
分类号 | B01D53/06(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/06(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 丽 |
主权项 | 1. 一种碱性反渗透膜清洗剂,其特征在于,包括:浓度为1~4%的乙二胺四乙酸四钠盐或者十二烷基苯璜酸钠或者三聚磷酸钠溶液,所述溶液的pH为10~12。 | ||
地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 |