透明導電配線、及び、透明導電配線の製造方法

摘要

【課題】高い視感透過率を有するとともに、Ａｇ膜のオーバーエッチング量が抑制され、導電性が十分に確保された透明導電配線、及び、この透明導電配線の製造方法を提供する。【解決手段】Ａｇ又はＡｇ合金からなるＡｇ膜１１とこのＡｇ膜１１に積層された透明導電酸化物膜１２とを有し、エッチング処理によって配線パターンが形成された透明導電配線１０であって、Ａｇ膜１１の膜厚ｔａが１５ｎｍ以下の範囲内とされ、透明導電酸化物膜１２に対するＡｇ膜１１のオーバーエッチング量Ｌが１μｍ以下とされている。【選択図】図２