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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0793301(B2)
申请公布日期
1995.10.09
申请号
JP19870270813
申请日期
1987.10.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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