| 发明名称 |
Loading a substrate in semiconductor manufacturing process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2360043(A) |
申请公布日期 |
2001.09.12 |
| 申请号 |
GB20010005504 |
申请日期 |
2001.03.06 |
| 申请人 |
* ANELVA CORPORATION |
发明人 |
SHINICHI * INABA;YOSUKE * IDE |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/56;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/68;(IPC1-7):C23C16/52 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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