| 发明名称 |
Plasma process control system comprising a programmable process controller and an external computer for downloading a control program to the process controller |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0911863(A3) |
申请公布日期 |
2001.09.12 |
| 申请号 |
EP19980306325 |
申请日期 |
1998.08.07 |
| 申请人 |
ENI TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
VONA, DANIEL F.;GERRISH, KEVIN S.;NASMAN, KEVIN P. |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;G05B19/409 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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