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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERSENSORS
摘要
申请公布号 DE69618952(T2) 申请公布日期 2002.11.14
申请号 DE1996618952T 申请日期 1996.05.24
申请人 LUCAS NOVASENSOR INC., FREMONT 发明人 PETERSEN, E.;MALUF, NADIM;MCCULLEY, WENDELL;LOGAN, JOHN;KLAASEN, ERNO;NOWOROLSKI, MARK
分类号 G01P15/10;B81B3/00;G01P15/08;G01P15/12;G01P15/125;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 G01P15/10
代理机构 代理人
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