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发明名称 RESIST PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR100618723(B1) 申请公布日期 2006.08.31
申请号 KR20000047729 申请日期 2000.08.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/16;G03F7/38 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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