Verfahren zur Herstellung eines Aggregats von Mikro-Nadeln aus Halbleitermaterial und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit einem solchen Aggregat,申请号DE1994634745T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung eines Aggregats von Mikro-Nadeln aus Halbleitermaterial und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit einem solchen Aggregat
摘要
申请公布号	DE69434745(T2)	申请公布日期	2006.10.05
申请号	DE1994634745T	申请日期	1994.11.02
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO. LTD.	发明人	ERIGUCHI, KOJI;KUBOTA, MASAFUMI;NIWA, MASAAKI;NOMURA, NOBORU
分类号	B81B3/00;B81B7/02;G01Q70/10;G01Q70/16;G02B6/12;G02B6/124;G11C23/00;H01H1/00;H01L21/30;H01L21/308;H01L27/15;H01L31/0352;H01L31/18;H01L33/10;H01L33/18	主分类号	B81B3/00
代理机构		代理人
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