| 发明名称 |
Meßanordnung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen, elektrische Kontakte aufweisenden Bauelementen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10307561(B4) |
申请公布日期 |
2006.10.05 |
| 申请号 |
DE2003107561 |
申请日期 |
2003.02.19 |
| 申请人 |
SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBH |
发明人 |
ENG, LUKAS M.;RANGELOW, IVO |
| 分类号 |
B81B1/00;B81B3/00;G01Q10/06;G01Q20/04;G01Q60/30;G01Q60/38;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
B81B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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