适用于批次基础制程机台之电脑执行之晶圆基础规划方法及系统

摘要

一种适用于批次基础制程机台之电脑执行之晶圆基础规划方法。提供规划资料，其包含操作阶层、一机台群组集阶层、一机台群组阶层、一机台阶层，其中该操作阶层包含至少一操作，且每一操作对应于该机台群组集阶层中的一机台群组集、该机台群组阶层中的一机台群组、以及该机台群组中的一批次基础制程机台。针对该操作阶层中每一操作，将至少一机台群组附加于该机台群组阶层，其中该附加之机台群组的数量系依据该批次基础制程机台之晶圆产能决定之。

主权项

一种适用于批次基础制程机台之电脑执行之晶圆基础规划方法，其包括：提供规划资料，其包含操作阶层、一机台群组集阶层、一机台群组阶层、一机台阶层，其中该操作阶层包含至少一操作，且每一操作对应于该机台群组集阶层中的一机台群组集、该机台群组阶层中的一机台群组、以及该机台群组中的一批次基础制程机台；以及针对该操作阶层中每一操作，将至少一机台群组附加于该机台群组阶层，其中该附加之机台群组的数量系依据该批次基础制程机台之晶圆产能决定之。