| 发明名称 | 磺酸盐和光刻胶组合物 | ||
| 摘要 | 一种式(I)的磺酸盐：其中Q<SUP>1</SUP>、Q<SUP>2</SUP>、Q<SUP>3</SUP>、Q<SUP>4</SUP>和Q<SUP>5</SUP>各自独立地表示某种取代基，A<SUP>+</SUP>表示相反离子，附加条件是Q<SUP>1</SUP>、Q<SUP>2</SUP>、Q<SUP>3</SUP>、Q<SUP>4</SUP>和Q<SUP>5</SUP>中的至少一个是式(II)的基团：其中R<SUP>1</SUP>和R<SUP>2</SUP>各自独立地表示含有1-12个碳原子的烷基等；和一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含式(I)的磺酸盐和一种树脂，所述的树脂包含含有酸不稳定基团的结构单元和本身不溶于或难溶于碱性水溶液、但是经酸的作用变得溶于碱性水溶液。 | ||
| 申请公布号 | CN100354257C | 申请公布日期 | 2007.12.12 |
| 申请号 | CN200410071625.3 | 申请日期 | 2004.07.16 |
| 申请人 | 住友化学工业株式会社 | 发明人 | 山口训史;秋田诚;吉田勋 |
| 分类号 | C07C309/29(2006.01);C07C309/58(2006.01);C07C323/31(2006.01);G03F7/004(2006.01) | 主分类号 | C07C309/29(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈平 |
| 主权项 | 1.一种式(I)的磺酸盐：<img file="C2004100716250002C1.GIF" wi="654" he="275" />其中Q<sup>1</sup>、Q<sup>2</sup>、Q<sup>3</sup>、Q<sup>4</sup>和Q<sup>5</sup>各自独立地表示氢、含有1-16个碳原子的烷基、或含有1-16个碳原子的烷氧基，前提条件是，Q<sup>1</sup>、Q<sup>2</sup>、Q<sup>3</sup>、Q<sup>4</sup>和Q<sup>5</sup>中的至少一个是1-烷基环烷基氧基羰基，且A<sup>+</sup>表示式(IIa)的相反离子：<img file="C2004100716250002C2.GIF" wi="800" he="416" />其中P<sup>1</sup>、P<sup>2</sup>和P<sup>3</sup>各自独立地表示氢、羟基、含有1-6个碳原子的烷基或含有1-6个碳原子的烷氧基。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||