| 发明名称 | 使用软或压印光刻法制备隔离的微米－和纳米－结构的方法 | ||
| 摘要 | 本公开主题描述了使用氟化的基于弹性体的材料，尤其是全氟聚醚(PFPE)系材料在高分辨的软或压印光刻应用，例如微米－和纳米级复制品模制中，及有机材料的第一纳米接触模制，使用弹性体模具产生高准确度特征的用途。相应地，公开主题描述了通过使用软或压印光刻，制备独立式的隔离的任何形状纳米结构的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101147239A | 申请公布日期 | 2008.03.19 |
| 申请号 | CN200480041942.9 | 申请日期 | 2004.12.20 |
| 申请人 | 北卡罗来纳大学查珀尔希尔分校;北卡罗来纳州大学 | 发明人 | 约瑟夫·M.·德西蒙;贾森·P.·罗兰;安斯利·E.·埃克斯纳;爱德华·T.·萨穆尔斯基;R.·祖德·萨穆尔斯基;本杰明·W.·梅诺;拉肯·E.·欧利斯;金格尔·M.·丹尼森 |
| 分类号 | H01L21/302(2006.01) | 主分类号 | H01L21/302(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 程大军 |
| 主权项 | 1.一种用于形成一个或多个颗粒的方法，该方法包括：(a)提供图案化的模板和基板，其中所述图案化的模板包括其中有多个凹陷区形成的图案化模板表面；(b)布置一定体积的液体材料在以下区域至少一个之中或之上：(i)所述图案化模板表面；和(ii)所述多个凹陷区；以及(c)通过以下步骤之一形成一个或多个颗粒：(i)使图案化模板表面与所述基板接触，并处理所述液体材料；和(ii)处理所述液体材料。 | ||
| 地址 | 美国北卡罗来纳 | ||