发明名称 | 用于测量待测量大面积表面上的薄层厚度的方法和设备 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于测量待测量大面积表面(12)上的薄层厚度的方法和设备,其中,包括至少一个传感器元件(29)以及与该传感器元件(29)相关联的至少一个接触球冠(31)的至少一个测量探头(28)被施加到待测量表面(12)以便获得测量值,其中,待测量大面积表面(12)被再分成单独的部分区域(14),针对待检查的每个部分区域(14)来确定测量点(16)的矩阵,使用承载至少一个测量探头(28)的设备(21)沿着部分区域(14)的矩阵的至少一行(17)在等距离测量点(16)处确定测量值,并且针对部分区域(14)中的矩阵中的所有行(17)接连地确定测量值并针对此部分区域(14)进行评估。 | ||
申请公布号 | CN102252640B | 申请公布日期 | 2016.06.08 |
申请号 | CN201110118055.9 | 申请日期 | 2011.05.09 |
申请人 | 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 | 发明人 | H.费希尔 |
分类号 | G01B21/08(2006.01)I | 主分类号 | G01B21/08(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 原绍辉 |
主权项 | 一种用于测量待测量大面积表面(12)上的薄层厚度的方法,其中,包括至少一个传感器元件(29)以及与传感器元件(29)相关联的至少一个接触球冠(31)的至少一个测量探头(28)被施加到待测量表面(12)以便获得测量值,其特征在于,待测量大面积表面(12)被再分成单独的部分区域(14),针对待检查的每个部分区域(14)来确定测量点(16)的矩阵,使用承载至少一个测量探头(28)的设备(21)沿着部分区域(14)的矩阵的至少一行(17)在等距离的测量点(16)处确定测量值,其中所述设备(21)包括至少一个旋转体(22)并接收至少一个测量探头(21),至少一个旋转体(22)包括至少一个行进面(23),所述设备(21)被放置在待测量表面(12)上并沿着行(17)滚动,以及针对部分区域(14)中的矩阵的所有行(17)接连地确定测量值并针对此部分区域(14)进行评估。 | ||
地址 | 德国辛德尔芬根 |