アクティブ型有機ＥＬ素子バックパネル及びその製造方法

摘要

【課題】本発明は、動作電圧を下げ、且つ回路動作速度を上げることが可能な、アクティブ型有機ＥＬ素子バックパネル及びその製造方法を提供する。【解決手段】バックパネルは、基板と、基板上の複数個のアクティブ薄膜トランジスタ画素列と、アクティブ薄膜トランジスタ画素列上の有機平坦層と、有機ＥＬ電極と、画素定義層と、支持体とからなる。アクティブ薄膜トランジスタ画素列は、駆動薄膜トランジスタと、スイッチ薄膜トランジスタとからなる。駆動薄膜トランジスタのゲート絶縁層は、スイッチ薄膜トランジスタのゲート絶縁層よりも厚い。駆動薄膜トランジスタのゲート絶縁層をより厚くすることで、駆動薄膜トランジスタのゲート容量を下げ、これにより駆動薄膜トランジスタのサブスレッショルド・スイングが大きくなるため、グレースケールの定義に優れる。同時にスイッチ薄膜トランジスタのサブスレッショルド・スイングも小さい値を保つ。【選択図】図２