一种微型快速升降温退火炉

摘要

本发明公开了一种微型快速升降温退火炉，主要包括：真空腔体、“三明治”结构加热平台、热电偶温度传感器、PID温度控制器、定时器、直流电源、稳压电源、炉体支架等。真空腔体由四通管道和密封罩构成，并用KF法兰密封，方便取放样品；退火炉整体采用CF法兰密封，腔室内易于达到气压低于10^‑5Pa的高真空水平；“三明治”结构加热平台由石英支撑板、金属加热薄片和石英样品台构成，加热部件体积小，易于实现快速升降温，无需设置价格高昂的红外加热装置、冷却辅助装置，有效降低快速升降温退火炉的整体成本。本发明具有体积小、能耗低、成本低、操作和维修简便等特点。本发明可以用于小样品的常温退火、快速高温退火、热氧化、通气热处理等。

主权项

一种微型快速升降温退火炉，其特征在于：该装置包括真空腔体、“三明治”结构加热平台、进气阀、出气阀、泄气阀、进气管、出气小孔、真空密封电极法兰、加热铜电极、测温铜电极、热电偶温度传感器、聚四氟乙烯固定板、炉体支架、PID温度控制器、定时器、直流电源和稳压电源；其中，所述真空腔体由四通管道和密封罩构成，并用KF法兰密封，方便取放样品；所述真空腔体左侧设置有进气阀和进气管，进气阀用于高真空模式和通气模式间的切换，进气管用于在通气模式下向腔室内输入所需气体；所述真空腔体右侧设置有出气阀和泄气阀，出气阀作为气体排出通道使用，出气阀采用KF法兰接口，方便与真空泵连接；泄气阀用于真空腔室破气，腔室内外气压一致时才能开启腔体取放样品；所述真空腔体上侧设置有“三明治”结构加热平台和聚四氟乙烯固定板，“三明治”结构加热平台用于承载样品和对样品加热；聚四氟乙烯固定板用于固定进气管、加热铜电极和热电偶温度传感器；聚四氟乙烯固定板中间设置有出气小孔，用于将腔室内流经样品的气体顺利排出到腔室外；所述“三明治”结构加热平台底部设置有热电偶温度传感器，温度传感器信号线与腔室内的两根测温铜电极相连，温度传感器用于对样品台温度实时监测，以便PID温度控制器及时做出反馈；所述真空腔体下侧设置有真空密封电极法兰，所述加热铜电极和测温铜电极由真空密封电极法兰上的铜柱导出到真空腔室外，并在腔室外分别与直流电源和PID温度控制器相连；所述真空腔体固定在炉体支架上。