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发明名称 CHARGED PARTICLE DETECTOR
摘要
申请公布号 EP0308953(B1) 申请公布日期 1992.03.11
申请号 EP19880115653 申请日期 1988.09.23
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 FUKUHARA, SATORU;SHINADA, HIROYUKI;TODOKORO, HIDEO
分类号 H01J43/24;G01Q30/02;G01R31/305;H01J37/244 主分类号 H01J43/24
代理机构 代理人
主权项
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