| 发明名称 |
METHOD FOR OPTICAL INSPECTION ANALYSIS OF INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0166270(B1) |
申请公布日期 |
1992.03.11 |
| 申请号 |
EP19850106829 |
申请日期 |
1985.06.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MANDEVILLE, JON RAYMOND |
| 分类号 |
H01L21/66;G06T1/00;G06T7/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
