| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF DIAMOND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05330986(A) |
申请公布日期 |
1993.12.14 |
| 申请号 |
JP19920140294 |
申请日期 |
1992.06.01 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MATSUOKA SHIGETO;HOSHINO KOICHI;ONO KENICHI |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B29/04;H01L25/10;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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