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发明名称 Device for supplying a voltage to a substrate holder
摘要
申请公布号 EP0545748(B1) 申请公布日期 1997.01.29
申请号 EP19920402982 申请日期 1992.11.04
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 CLAUDE, RICHARD;DAVIET, JEAN-FRANCOIS;MONTMAYEUL, PHILIPPE;PECCOUD, LOUISE
分类号 C23C16/458;H01J37/32;H01L21/683;H01R13/24;(IPC1-7):H01R13/24 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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