| 发明名称 |
MICROSCOPE, ESPECIALLY MICROSCOPE USED FOR INSPECTION IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1131665(A1) |
申请公布日期 |
2001.09.12 |
| 申请号 |
EP20000964212 |
申请日期 |
2000.09.20 |
| 申请人 |
CARL ZEISS JENA GMBH |
发明人 |
ENGEL, THOMAS;HARNISCH, WOLFGANG;SCHELER, ROLAND |
| 分类号 |
G02B5/32;G02B5/02;G02B21/16;G03F1/08;(IPC1-7):G02B21/16 |
主分类号 |
G02B5/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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