| 发明名称 |
A top gate self-aligned polysilicon TFT and a method for its production |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1102313(A3) |
申请公布日期 |
2002.09.25 |
| 申请号 |
EP20000310235 |
申请日期 |
2000.11.17 |
| 申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
HO, JACKSON;FULKS, RONALD T. |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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