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发明名称
Abbildungssystem für ein, auf extrem ultravioletter (EUV) Strahlung basierendem Mikroskop
摘要
申请公布号
DE50304739(D1)
申请公布日期
2006.10.05
申请号
DE20035004739
申请日期
2003.07.19
申请人
CARL ZEISS SMS GMBH
发明人
DOBSCHAL, HANS-JUERGEN;GREIF-WUESTENBECKER, JOERN;BRUNNER, ROBERT;ROSENKRANZ, NORBERT;SCHERUEBL, THOMAS
分类号
G21K7/00;G21K1/06
主分类号
G21K7/00
代理机构
代理人
主权项
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