发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines lichtempfindlichen Bauelements mit rückseitem Strahlungseintritt |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69737492(D1) |
申请公布日期 |
2007.05.03 |
申请号 |
DE19976037492 |
申请日期 |
1997.10.10 |
申请人 |
HAMAMATSU PHOTONICS K.K. |
发明人 |
MURAMATSU, MASAHARU;AKAHORI, HIROSHI |
分类号 |
H01L27/148;H01L21/82;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/02;H01L31/0224;H01L31/112 |
主分类号 |
H01L27/148 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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