管理衬底处理装置的装置信息的衬底处理系统

摘要

一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。

主权项

1.一种衬底处理系统，将具有对衬底进行规定处理的处理单元和控制装置整体的系统控制部以及分别控制上述处理单元的单元控制部的衬底处理装置和计算机经网络结合，其特征在于，具有：在上述系统控制部或上述单元控制部上安装软件模块时，在该时刻确认上述系统控制部和上述单元控制部上各自安装的软件模块的匹配性的匹配性确认部件。