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发明名称
摘要
申请公布号
JP4043103(B2)
申请公布日期
2008.02.06
申请号
JP19980186869
申请日期
1998.06.17
申请人
发明人
分类号
C01B33/12;C03C12/00;C08K3/36;C08L101/00;H01L21/56
主分类号
C01B33/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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