| 发明名称 |
OXIDATION BARRIER LAYER |
| 摘要 |
본 발명은, 작업편 기재 위에 산화 장벽 층을 제조하는 방법에 관한 것으로, 산화 장벽 층은 물리 증기 증착(PVD)에 의해 제조되고 작업편의 코팅되지 않은 표면과 물질적으로 관련된 산화물이다. |
| 申请公布号 |
KR20160083887(A) |
申请公布日期 |
2016.07.12 |
| 申请号 |
KR20167014263 |
申请日期 |
2014.10.31 |
| 申请人 |
OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFAFFIKON |
发明人 |
RAMM JUERGEN;SEIBERT FLORIAN;WIDRIG BENO;FOPP SPORI DORIS |
| 分类号 |
C23C14/32;C23C14/08;C23C14/58 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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