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发明名称
PRODUCTION OF GASEOUS NITROGEN TRIFLUORIDE
摘要
申请公布号
JPH0477305(A)
申请公布日期
1992.03.11
申请号
JP19900187303
申请日期
1990.07.17
申请人
MITSUI TOATSU CHEM INC
发明人
ARITSUKA MAKOTO;IWANAGA TOKUYUKI
分类号
C01B21/083
主分类号
C01B21/083
代理机构
代理人
主权项
地址
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